# Nutrim 新群科技 > Nutrim 新群科技(2010 年成立,台灣桃園)專注於暫時鍵合/解鍵合(TBDB, Temporary Bonding & Debonding)製程設備與翹曲晶圓處理自動化,應用於晶圓薄化與先進封裝。提供 4"–12" 晶圓鍵合機、解鍵合清洗機、翹曲片 Loader、晶圓檢查機與雷射刻印機,並於廠內提供 TBDB 全製程打樣測試。 新群科技是「翹曲晶圓與自動化設備的問題解決專家」,核心聚焦 TBDB(Temporary Bonding & Debonding,暫時鍵合/解鍵合)製程設備與打樣服務。聯絡:+886-3-385-2735|sales@twnutrim.com|320 桃園市中壢區吉林路 23 號 3 樓(3F., No. 23, Jilin Rd., Zhongli Dist., Taoyuan City 320, Taiwan (R.O.C.))。 ## 關鍵事實 - 成立:2010 年,台灣桃園中壢 - 核心專長:暫時鍵合/解鍵合(TBDB)製程設備、翹曲晶圓自動化處理 - 晶圓尺寸:4"、6"、8"、12"(相近尺寸可兼容設計) - 翹曲處理:Loader/檢查機可對應翹曲量 ≦ 10 mm 的晶圓 - TBDB 應用:晶圓薄化,以及 2.5D/3D IC、TSV、扇出型封裝、RDL 重佈線等先進封裝製程 - 薄晶圓解鍵合:自動偵測厚度,≧ 50 µm;機械解鍵合最薄可達 10 µm - 解鍵合方式:熱滑移(Thermal Slide)、機械剝離(Mechanical)、雷射剝離(Laser Lift-off, 355/1064 nm) - 打樣服務:廠內一條龍:Spin Coat → Bake → Bond → Debond → Cleaning - 產業驗證:2016 年進入 TSMC 供應鏈;自動 Temporary Bonder 累積 10 年以上、數十家客戶導入 - 2026:辛耘企業投資新群,新群加入辛耘團隊,專注 TB/DB 製程及設備開發 ## 解決方案 - [TBDB 暫時鍵合/解鍵合解決方案](https://www.twnutrim.com/wafer-temporary-bonder-debonder/): 製程步驟、解鍵合方式比較、設備與 FAQ - [翹曲晶圓處理方案](https://www.twnutrim.com/warpage-solutions/): ≦10 mm 翹曲晶圓取放、檢查、鍵合 - [TBDB 打樣測試服務](https://www.twnutrim.com/temporary-bonding-debonding-services/): 4"–12" 廠內一條龍打樣 - [TBDB 製程技術完整解析](https://www.twnutrim.com/temporary-bonding-debonding-process-tbdb/): 技術文章 ## 技術知識 - [技術知識中心](https://www.twnutrim.com/knowledge/) - [半導體術語中英對照表](https://www.twnutrim.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E8%A1%93%E8%AA%9E%E4%B8%AD%E8%8B%B1%E5%B0%8D%E7%85%A7%E8%A1%A8/): 860 個先進封裝、製程、設備術語 - [單位轉換工具](https://www.twnutrim.com/%E5%96%AE%E4%BD%8D%E8%BD%89%E6%8F%9B%E5%B7%A5%E5%85%B7/): 壓力、真空度、流量、流速、長度、溫度 - [半導體產業資訊與知識網站](https://www.twnutrim.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E7%94%A2%E6%A5%AD%E8%B3%87%E8%A8%8A%E8%88%87%E7%9F%A5%E8%AD%98%E7%B6%B2%E7%AB%99/): 產業新聞、協會、大廠、學習平台 ## 設備產品 - [全自動晶圓鍵合機(Wafer Auto Bonder)](https://www.twnutrim.com/product/wafer-auto-bonder/): 將需要薄化或先進封裝製程的元件晶圓暫時貼合在載片(carrier)上,整合塗佈、預熱、對準與鍵合於一機,降低薄晶圓破片風險。 - [全自動晶圓解鍵合清洗機(Wafer Auto Debonder (Clean))](https://www.twnutrim.com/product/wafer-auto-debonder-clean/): 背面製程完成後,自動將晶圓與載片分離並完成清洗;自動偵測晶圓厚度,適用 50 µm 以上薄晶圓。 - [半自動晶圓解鍵合機(Wafer Semi Auto Debonder)](https://www.twnutrim.com/product/wafer-semi-debonder/): 人工放片、一鍵解鍵合;3 組解鍵合模組可獨立設定參數並同時作業,適合研發打樣與中小量產。 - [自動晶圓傳送設備(封閉式)(Wafer Loader FOUP Type)](https://www.twnutrim.com/product/wafer-loader-foup-type/): 12" 封閉式自動上下料模組,可對應翹曲量 ≦ 10 mm 的晶圓,可整合至既有手動機台達成自動化。 - [自動晶圓傳送設備(開放式)(Wafer Loader Open Cassette Type)](https://www.twnutrim.com/product/wafer-loader-open-cassette-type/): 最大 8" 開放式卡匣自動上下料,減少人員接觸造成的髒污與破片,並提供高精度對位提升良率。 - [全自動晶圓檢查機(Wafer Auto Inspection TM/AOI (OM/IR))](https://www.twnutrim.com/product/wafer-auto-inspection-tm-aoi-om-ir-x-ray/): 最大 12"(支援鐵框)全自動巨觀+微觀檢查,可搭配 OM/IR/X-ray 光學系統,具自動幾何量測與 NG 點重現。 - [全自動晶圓檢查機(進階款)(Wafer Auto Inspection OM (PRO))](https://www.twnutrim.com/product/wafer-auto-inspection-om-pro/): 12" 巨觀+微觀檢查,可選 8"/12" 共用 Load Port,站點可切換自動/手動,並可升級自動量測與 AOI。 - [全自動晶圓檢查機(基本款)(Wafer Auto OM Inspection (Basic))](https://www.twnutrim.com/product/wafer-auto-om-inspection-basic/): 8" 標準機型,機台尺寸小、節省無塵室空間,具巨觀與微觀檢查、NG 點位重現。 - [全自動晶圓巨觀檢查機(具 Sorter 功能)(Wafer Auto Macro Inspection (Sorter))](https://www.twnutrim.com/product/wafer-auto-macro-inspection-sorter/): 巨觀檢查結合晶圓翻轉與分片,雙 Load Port,封閉式高潔淨架構。 - [晶圓雷射刻印機(Wafer Laser Marker)](https://www.twnutrim.com/product/wlcsp-laser-mark/): 適用 WLCSP 等級的高精度晶圓刻印:Wafer ID、Alignment mark、Barcode、2D code、QR code 等。 ## 公司與聯絡 - [關於新群科技](https://www.twnutrim.com/about-nutrim/): 沿革、客戶 - [聯絡我們](https://www.twnutrim.com/contact/): 電話、Email、地址、線上需求單 - [徵才資訊](https://www.twnutrim.com/job-opening/) ## Optional - [完整內容(純文字)](https://www.twnutrim.com/llms-full.txt)