Wafer Auto Macro Inspection (Sorter)

全自動晶圓巨觀檢查機 (具Sortor功能)

可降低操作人員觸碰到晶圓,而造成晶圓髒污或受損的機率。

本機優點:

  • 台灣在地開發製造,可為您降低設備成本。
  • 機台尺寸小,可節省無塵室空間  【1400(W)*900(D)*2050(H)】。
  • 站點可依製程選擇使用。
  • 具晶圓翻轉功能。
  • 具晶圓分片功能。
  • 封閉式架構,具高潔淨度。

 

* 本機為功能混合型機臺,需更多功能可諮詢做客製化服務。

 

 

描述

 本機說明:

 

晶圓直徑(Wafer size)
  8吋晶圓 (可客製符合其他晶圓尺寸)

 

晶圓載入載出模組(Wafer load/unload module)
  • Lord port *2
  • 使用 Open cassette 
  • 晶圓數片(Mapping)功能,可有效偵測有片、無片、錯片、凸片、疊片(無翹曲)

 

對準器模組(Aligner)
  • 自動對圓心,可依Notch或平邊做角度擺正。
  • 可為透明片或非透明片做微米等級的精準對位。

 

巨觀檢測 ( Macro Inspection ) 巨觀檢測 ( Macro Inspection )
  • 可依客戶需求選擇光源。
  • 可供人員目視做正面、背面、背面邊緣檢查。
  • 可手動調整搖桿,任意調整旋轉角度。也可設定檢查角度,進行自動旋轉調整角度。
  • 可做NG片紀錄。
  • 站點可依製程選擇使用。

 

分片功能
  • 具翻轉功能。
  • Cassette A 原進原出。
  • Cassette A 傳送至Cassette B

 

控制元件
PLC + HMI

 

選配需求( Option )
  • 翹曲片處理(<10mm)
  • Wafer ID(OCR 限定Semi標準字型)。
  • 靜電解決方案。

 

 

 

 

 

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